蒸着材料

蒸着材料

弊社では光学用薄膜、ディスプレイ関連成膜等、様々な用途に適した、蒸着材・蒸着源を提供しています。
国内外問わず、幅広いネットワークを駆使し、多品種、高品質な製品の提供、お客様の仕様に合わせた製品開発等、柔軟に対応いたします。


真空蒸着材料

ペレット系材料

取り扱いが容易な各種形状のペレットを用意しており、お使いのハースライナーに合ったものが選定可能です。電子銃などの強力なエネルギーにも耐え得る高耐熱衝撃性材料も網羅いたしております。

 

粒状系材料

蒸着材料の継ぎ足しが可能であり、蒸着材料に適しております。また、薄膜の強度や耐久性に悪影響を及ぼす蒸着材からの放出ガスを低レベルに抑えた脱ガス品もあります。


その他(機能性薄膜材料)

撥水性や防汚性等、光学的特性以外の特殊な機能を持つ有機薄膜を作製するための蒸着材料。従来の溶剤を用いた塗布プロセスとは異なり真空蒸着により被膜を形成する為、反射防止膜形成から連続して撥水・防汚処理を行う事が可能です。


抵抗加熱蒸着用ボート

<製品例>

長さ
35〜195mm(一般100mm)
抵抗加熱蒸着用ボート
6.0〜30mm
版厚
0.1〜0.5mm
深さ
1.5〜2.0mm
プレス部
40〜50mm
材質
W, Mo, Ta 他
※通常プレス部はフラット型ですがV字形も対応可能です。
※特殊形状もお問い合わせください。

抵抗加熱蒸着用フィラメント

<製品例>

線径
0.5〜1.0mm
抵抗加熱蒸着用フィラメント
形状
ストレート型/ヘリカルコイル型/バスケット型
材質
W, Mo, Ta 其他
※アルミナコーティング仕様も対応可能
※その他オーダー品もご相談ください。

EB蒸着用 消耗パーツ

<EBフィラメント>

ワイヤー径
φ0.55、φ0.65、φ0.80
EBフィラメント
材質
W
※その他形状はお問い合わせください。


<ハースライナー>

材質
Cu, W, Mo, Ta 其他
ハースライナー
※右図参照頂き、形状、寸法などご指定ください。 

 

  
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