靶材

對應靶材一覽表

金屬 (Metal)	Al・C・Cr・Cu・Ge・Co・Au・Hf・In・Fe・Pd・Mg・Mo・Ni・Nb・Pt
	Se・Si（Multi & Mono）・Ag・Ta・Ti・Sn・W・Zn・Zr・V・etc
氧化物 (Oxide)	Al2O3・CeO2・Cr2O3・CuO・Ga2O3・GeO2・In2O3・La2O3
	MgO・MnO2・Nb2O3・SiO2・Ta2O5・TiO2・WO3・ZnO・etc
透明導電膜 (TCO）	ITO（In2O3：SnO2）・AZO（ZnO：Al2O3）
	GZO（ZnO：Ga2O3）・IGZO（In：Ga：ZnO）
其他 (Rest of Targets)	Carbides（碳化物）・Florides（氟化物）・Nitraides（氮化物）
	Alloy（合金）・AgAlloy・AlAlloy・CoAlloy・CrAlloy・NiAlloy・TiAlloy・etc

 

＊除了以上材料之外特殊材料歡迎來電/來信洽詢
＊請告知規格（材料、純度、尺寸、應用等）

背板貼合代工・背板製作・銦錠販賣

• 背板貼合代工
  可對應各種靶材的貼合代工。另外可回收靶材,去殘靶並再進行新靶貼合

• 背板製作

  我們擁有多年半導體,液晶等設備真空零件製造經驗技術,能承接各種不同背板製作

• 銦碇販售

  透過國內外豐富的網絡 、提供高品質低成本背板貼合用的銦碇販售
   

  Si靶

  單、多晶矽材料能對應客戶期望提供不同純度，阻值，形狀等

• GZO、AZO靶（透明導電膜用）

  ITO靶作為透明導電膜的材料，需求急速增加。然而，主要成分銦是一種稀有元素，受價格上漲和供應不穩問題。因此，我們提出ZnO型（GZO，AZO）靶作為ITO替代材料。
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Cr靶

Ti靶

         Al靶